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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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產(chǎn)品分類原位電學(xué)測(cè)試平臺(tái),適用于半導(dǎo)體材料、器件變溫下的電學(xué)測(cè)試,設(shè)計(jì)小巧,便攜集成顯微、光譜系統(tǒng)。
┃ 設(shè)備特點(diǎn)
溫度范圍 -190℃~600℃,RT~1000℃
溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃
氣氛保護(hù)、真空
樣品區(qū) 28x30mm
探針數(shù)量 4個(gè)
電學(xué)接頭 BNC 三同軸BNC 可選
臺(tái)面電位 電接地 三同軸 背電極 可選
適配光學(xué)儀器 顯微鏡 光譜儀 鐵電 介電 電化學(xué)工作站 磁場(chǎng) 電學(xué)源表 半導(dǎo)體分析儀 DLTS